立式氧化/扩散炉建模与调度研究

立式氧化/传播炉是半导体一贯作业分娩零碎前进程的要紧容易╱难以)驾驶匹配,它批量执行遗产管理人的职责晶圆容易╱难以)驾驶。,成批处理需求更长的工夫。,它是半导体一贯作业分娩零碎的首要瓶颈路段鉴于。。立式氧化/传播炉把持制度的机能直线嫁妆情感晶圆创造的本钱,调停算法是把持制度高效运转的结症。。本文率先鉴于某典型立式氧化/传播炉的容易╱难以)驾驶进程停止正视目的Petri网建模,将立式氧化/传播炉按打算划分为片架台、三种目的,操纵器和技术腔。,使杰出构筑其目的Petri网。,用M停止目的相干办法的静态剖析。,组织出机能良好的立式氧化/传播炉容易╱难以)驾驶进程的正视目的Petri网,鉴于目的的零碎把持软件剥削的根本进程;为了同时剖析立式氧化/传播炉的单机调停和多机调停,联合收割机其容易╱难以)驾驶特点和分娩约束构筑了立式氧化/传播炉的调停混合Petri网,剖析并发生了调停算法中需求处理的成绩。。在是你这么说的嘛!建模剖析现实的根据,在可预测命运下设计了各式各样的典型的晶圆抵达工夫。,最小量总达到结尾的工夫是目的。,鉴于血球群算 
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《奇纳河集成电路图》2002年03期
奇纳河集成电路图

传播炉(CVD)是要紧的容易╱难以)驾驶匹配鉴于。,其首要打算是掺杂半导体。,就是说,掺杂现金在低温下传播到硅片上。,所以替换和把持半导体内杂质的典型、浓度和散布,为了构筑不相同的与电有关的特点区域。不管有些工艺品可以鉴于离子簇倾注法来掺杂。,但热传播仍是首要要素。、最经用的掺杂办法。硅的热氧化使硅表层与之发作反馈噪音。,开展河床二氧化硅薄膜。氧化办法包括干氧氧化和自夸者两种。,传播炉是用TH配制品氧化层的必然的匹配。传播炉是半导体集成电路图的根底匹配。。 鉴于积年的成就,海内传播炉已构成海内市场。,它已适宜进口创作的代用品。,程度传播炉与外部的不同完全小。。 跟随奇纳河半导体技术的活跃开展,铅直传播/氧化炉为8使迟钝的地用羔羊皮装饰的。、亚微米集成电路图一贯作业分娩零碎的要紧匹配。异国公司看好奇纳河的市集。,现时由他们剥削的铅直传播/氧化炉创作,技术先前戒毒。。海内想出开动较晚。,累积而成各式各样的要素。
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《计算图表工程》1991年05期
计算图表工程

一、引 半导体匹配的分娩工艺品,该匹配在传播器说得中肯传播进程达到…长度2小时。,通常需求应该的把持传播体温。。比如某器件的传播体温为1250±℃;同时跟随现金按大小排列的累积而成,通常需求把持体温兑换率。。另外,在传播进程中在N。,H:,HCl,0。等毒气需求传播。带有著作的著作交通工具在炉内用羔羊皮装饰的。。传播炉运转的人工把持,一方面,把持传播毒气的工夫是不容易的。。在另一方面,传播工夫较长。,产前阵痛的劳动强度很强。。在完全地分娩进程中,炉子体温有太大的绝对偏差。,或许体温兑换率太大。,该匹配会使变形或发生眇说。,落得失格创作,创作机能弥散度较大。。到这程度,我们的剥削了任一可编程把持器来把持传播炉。。 二、把持律设计 眼前,分娩进程把持制度,PID适应于大测量的50比一。。任一简略的PID零碎包括测量适应于器。,或测量作积分运算适应于器。,或测量作积分运算工资级差适应于器。。该零碎可以精确。、即时、无错误指示方向、把持。 传播炉炉温把持,眼前,它们大半是简略的。
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《微电子学》1985年01期
微电子学

要不是 鉴于对增殖大按大小排列硅片成品率需求的不息增长,硅片容易╱难以)驾驶与使调动的无意识或下意识行为化也在改善。因我们的需求把持复杂的工艺品参量。,在传播中采取上进的微处理器技术是必然的的。。三种现实的的体温把持制度的几种设计办法,这些零碎的首要特点是与运营商共同著作停止熟食。。 跟随硅的按大小排列累积而成到六使迟钝的地用羔羊皮装饰的或更大,进程把持参量设法对付各种的紧凑。。眼前,普通需求体温排列高达40。,其细致的优于 C。。然而,鉴于大直径高温元件,F端的热破财。,国际约的三高温区设计近乎是不成接纳的。。鉴于累积而成T来增殖常温区的机能。。查问三采暖面积零碎的全速前进。,五独立的高温区暂代他人职务更无效的体温把持和F。 子孙超大规模集成电路图 路怎地走?,只得增加来自某处机具和运转员的血球污染的。。为了做完这一需求,可以采取类别和迟钝的地降落零碎代表约。,你也可以应用举升无意识或下意识行为装载零碎进入任一。
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《轻便电炉》1988年03期
轻便电炉

一、序言 海内想出现实、用于分娩超级大国半导体匹配的匹配,硅片低温传播后,需求迟钝的冷藏。。然而,传播炉通常由模仿电路图把持,但不具有把持冷藏的效能。。炉子的不做作的冷藏太快了。,很不克不及做完冷藏工夫的需求。。传播炉单元,大半数运转员常常调停电流限度局限或变换整齐的匹配。。其劳动强度大。,冷藏进程使弯曲难以应该的把持。,所以情感创作上流社会的。 一 对立面是你这么说的嘛!成绩,作者制造了一种长工夫的冷藏把持匹配。。它可以好的地衔接传播炉及其衍生匹配,而且,它还可以装备其他的MV留下印象。、P ID把持轻便电炉。该匹配可成真长工夫直线性冷藏和COO的无意识或下意识行为把持。,还可成真多步冷藏进程的半无意识或下意识行为把持。。 二、电路图结合及任务规律 冷藏把持匹配的与电有关的规律图如F所示。。半导体区分匹配,组织简略。它由以下嫁妆结合:第1嫁妆,单结振荡电路图,,BG-第1大节 冷藏把持与电有关的规律图压力比Q摆布。。振荡过来某一特定历史时期的为t=(丰集T 1)。!}上)c:1n—一≈,调停分压计。
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《云南云南师范大学交易(不做作的科学版)》2012年02期
云南云南师范大学交易(不做作的科学版)

传播进程是结晶硅太阳电池M的核心技术。。传播进程的使尽可能性有效是现今去关怀的成绩。。传播构成p-n结的上流社会的,直线嫁妆情感太阳能电池的电机能。。在现实分娩进程中,管式传播炉说得中肯传播和掺杂进程是任一复杂的pH值。。在传播使习惯于,在传播槽中很难精通的现实体温场。、全速前进场、三个浓度场的相互作用。我们的以为,流场不均匀的散布,高效太阳能电池工业化的最大障碍物,传播炉内流泪散布的实质是流感成绩。而试验想出,现实剖析和数值模仿是STU的三种根本办法。。近些年来,计算流泪力学(CFD)已开展适宜一门完全戒毒的学科。,它已成地应用于流泪机械和流泪工程。、灌溉结构物、大量、命运、和其他的技术界。。过来不得不鉴于试验中间才干赢得的有些人卒,现时可以策略算流泪应该的地购置物〔3〕。。当代风格的计算流泪力学的开展,人文学科利策略算图表模仿试验进程。、鉴于SIMUL对试验匹配停止使尽可能性有效是可能性的。。本文采取计算流泪力学的办法。,设置太阳能电池分娩管。
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