立式氧化/扩散炉建模与调度研究

立式氧化/四散的炉是半导体流水线前诉讼程序的要紧列队行进单位,它批量媒质晶圆列队行进。,成批处理需求更长的工夫。,它是半导体流水线的次要阻碍走过。。立式氧化/四散的炉作用零碎的效能径直效果晶圆创造的本钱,校正算法是作用零碎高效运转的线索。。本文率先鉴于某典型立式氧化/四散的炉的列队行进换异举行应该对付目的Petri网建模,将立式氧化/四散的炉按打算划分为片架台、三种目的,操纵器和技术腔。,分开达到其目的Petri网。,用M举行目的相干电网的静态剖析。,构成出效能良好的立式氧化/四散的炉列队行进换异的应该对付目的Petri网,鉴于目的的零碎把持软件勋绩的根本换异;为了的比较级剖析立式氧化/四散的炉的单机校正和多机校正,兼有其列队行进特点和商品约束达到了立式氧化/四散的炉的校正混合Petri网,剖析并规定了校正算法中需求处理的成绩。。在是你这么说的嘛!建模剖析规律的依据,在可预测境况下设计了杂多的典型的晶圆抵达工夫。,最少的总填写工夫是目的。,鉴于原子群算 
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《中国1971集成唤醒》2002年03期
中国1971集成唤醒

四散的炉(CVD)是要紧的列队行进单位走过。,其次要打算是掺杂半导体。,就是,掺杂肉体的在低温下四散的到硅片上。,依据换衣和把持半导体内杂质的典型、浓度和散布,为了达到明显的的惊人的特点区域。尽管有些工艺品可以走过离子簇灌注法来掺杂。,但热四散的仍是次要相等。、最经用的掺杂方式。硅的热氧化使硅脸与之发作反响。,分裂生长上床二氧化硅薄膜。氧化方式包孕干氧氧化和无实质之物两种。,四散的炉是用TH预备氧化层的强制的方法。四散的炉是半导体集成唤醒的根底方法。。 走过积年的黾勉,国际四散的炉已方式国际市场。,它已发生进口商品的代用药。,程度四散的炉与广为流传地的反差十足的小。。 跟随中国1971半导体技术的兴隆开展,铅直四散的/氧化炉为8缓慢地提议。、亚微米集成唤醒流水线的要紧方法。本国公司看好中国1971的大巴扎集市。,现时由他们勋绩的铅直四散的/氧化炉商品,技术先前熟。。国际调查开动较晚。,附带说明杂多的相等。
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《数纸机工程》1991年05期
数纸机工程

一、引 半导体永久性军事基地的商品工艺品,该永久性军事基地在四散的器打中四散的换异达到…长度2小时。,通常需求优美的无误的把持四散的体温。。比如某器件的四散的体温为1250±℃;同时跟随肉体的胶料的补充物,通常需求把持体温杂耍率。。再一次,在四散的换异中在N。,H:,HCl,0。等放出气体声称四散的。带有使缓慢地前进的使缓慢地前进缆车在炉内提议。。四散的炉作用的人工把持,一方面,把持四散的放出气体的工夫是不容易的。。在另一方面,四散的工夫较长。,员工的劳动强度很强。。在所有的商品换异中,炉子体温有太大的偏离。,或许体温杂耍率太大。,该永久性军事基地会使变质或发生眇碎裂声。,事业无资格的商品,商品效能色散度较大。。像这样,本人勋绩了一点钟可编程把持器来把持四散的炉。。 二、把持律设计 眼前,商品换异作用零碎,PID调停大除的50比一。。一点钟复杂的PID零碎牵制除调停器。,或除整体的调停器。,或除整体的微分的调停器。。该零碎可以优美的。、即时、无误审给出命令、把持。 四散的炉炉温把持,眼前,它们大半是复杂的。
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《微电子学》1985年01期
微电子学

唯一的 鉴于对繁殖大胶料硅片成品率需求的不时增长,硅片列队行进与转移的天然产生的化也在改良。由于本人需求把持复杂的工艺品决定因素。,在四散的中采取上进的微处理器技术是强制的的。。三种可实行的的体温作用零碎的几种设计方式,这些零碎的次要特点是与运营商同事举行熟食。。 跟随硅的胶料补充物到六缓慢地提议或更大,换异把持决定因素相当每个紧凑。。眼前,普通声称体温漫游高达40。,其行动精确的优于 C。。纵然,鉴于大直径供热的元件,F端的热浪费。,会议的三供热的区设计事实上是不成领受的。。走过补充物T来繁殖常温区的效能。。讯问三采暖面积零碎的快速。,第五独立的供热的区补充更无效的体温把持和F。 子孙超大规模集成唤醒 路怎样走?,应该增加因为机具和作用员的原子使蒙受毒害。。为了心甘情愿的这一声称,可以采取同类项和缓慢地地降落零碎代表条约。,你也可以运用举升天然产生的装载零碎进入一点钟。
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《餐厅出售的热食》1988年03期
餐厅出售的热食

一、前奏 国际调查事实、用于商品超国家政治实体半导体永久性军事基地的永久性军事基地,硅片低温四散的后,需求缓慢地变凉。。纵然,四散的炉通常由仿照唤醒把持,但不具有把持变凉的效能。。炉子的不做作的变凉太快了。,极不克不及心甘情愿的变凉工夫的声称。。四散的炉单元,大半数作用员常常校正电流限度局限或更新紧握永久性军事基地。。其劳动强度大。,变凉换异角部难以优美的把持。,依据效果商品优点。 一 对立面是你这么说的嘛!成绩,作者发达了一种长工夫的变凉把持永久性军事基地。。它可以精致的地衔接四散的炉及其衍生方法,然后,它还可以装备对立面MV留下印象。、P ID把持餐厅出售的热食。该永久性军事基地可成真长工夫线性的变凉和COO的天然产生的把持。,还可成真多步变凉换异的半天然产生的把持。。 二、唤醒结合及任务规律 变凉把持永久性军事基地的惊人的规律图如F所示。。半导体拆移永久性军事基地,和解复杂。它由以下局部结合:第1局部,单结振荡唤醒,,BG-第1大节 变凉把持惊人的规律图压力比Q摆布。。振荡使轮转为t=(丰集T 1)。!}上)c:1n—一≈,校正电势计。
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《云南云南师范大学期刊(不做作的科学版)》2012年02期
云南云南师范大学期刊(不做作的科学版)

四散的换异是安瓿吸入剂硅太阳电池M的核心技术。。四散的换异的使最优化是现今很关怀的成绩。。四散的方式p-n结的优点,径直效果太阳能电池的电效能。。在实践商品换异中,管式四散的炉打中四散的和掺杂换异是一点钟复杂的pH值。。在四散的使习惯于,在四散的槽中很难控制力实践体温场。、吼叫场、三个浓度场的相互作用。本人以为,流场不同类的散布,高效太阳能电池工业化的最大妨碍议事,四散的炉内加水稀释散布的实质是流感成绩。而试验调查,规律剖析和数值仿照是STU的三种根本方式。。近些年来,计算加水稀释力学(CFD)已开展发生一门十足的熟的学科。,它已成地应用于加水稀释机械和加水稀释工程。、水工、忧郁的、境况、和对立面技术如行星或恒星。。过来但是走过试验媒质才干欢迎的些许后果,现时可以花招算加水稀释优美的无误的地如愿以偿〔3〕。。现代主义者计算加水稀释力学的开展,种族使用数纸机仿照试验换异。、鉴于SIMUL对试验方法举行使最优化是可能性的。。本文采取计算加水稀释力学的方式。,设置太阳能电池商品管。
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